引發(fā)日韓半導(dǎo)體之爭的氟化氫的到底有多重要？

引發(fā)日韓半導(dǎo)體之爭的氟化氫的到底有多重要？

日本和韓國擦槍走火，日本宣布對出口韓國的三種半導(dǎo)體材料將采取更為嚴(yán)格的規(guī)范。

自7月4日起日本將取消韓國的蕞惠國待遇，在氟化聚酰亞胺、光刻膠、氟化氫這三種材料出口上，從原先的免申請出口許可，改為逐案審核，相關(guān)審查流程蕞長將達(dá)90個工作日。

而引發(fā)日韓半導(dǎo)體之爭的氟化氫對于韓國來說意味著什么，如此重要的原材料被限制如何破局也成為關(guān)鍵。

尋求原材料解決之道

受日本政府限制對韓出口半導(dǎo)體關(guān)鍵材料影響，韓國半導(dǎo)體企業(yè)十分重視半導(dǎo)體材料調(diào)配問題，三星電子已從比利時采購部分核心原材料。

目前三星電子現(xiàn)已在比利時某化學(xué)公司找到光刻膠貨源，并已向該公司下單購買6至10個月需求量的貨品。光刻膠正是日本7月4日宣布限制向韓國出口的3種半導(dǎo)體關(guān)鍵材料之一。

目前具體公司名稱沒有透露，但被認(rèn)為指的是日本化學(xué)企業(yè)JSR和比利時微電子研究中心（IMEC）2016年設(shè)立的合資公司EUVResist。EUVResist大股東是JSRMicro，JSRMicro是JSR在比利時的子公司。

三星并沒有證實，僅強(qiáng)調(diào)其正在多元化其供應(yīng)管道措施，來因應(yīng)日本限制措施。且韓國政府正計劃明年大幅提高國家出資的研發(fā)支出，以培育和發(fā)展主要從海外進(jìn)口的關(guān)鍵工業(yè)材料和設(shè)備，同時加強(qiáng)致力于在本土生產(chǎn)。

氟化氫之于半導(dǎo)體之中

氟化氫是一種一元弱酸，有毒性，極易揮發(fā)，氟化氫用途非常廠泛，其中高純度的氟化氫（HF）對半導(dǎo)體材料的生產(chǎn)至關(guān)重要，氟化氫主要用來切割半導(dǎo)體基板，在半導(dǎo)體產(chǎn)品制造的600多道工序中，使用氟化氫的次數(shù)有時多達(dá)十多次。

氟化氫應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的蝕刻與雜物除清工序。今年一至五月份韓國企業(yè)進(jìn)口的氟化氫，以總價額計分別為中國占46．3％，日本43．9％，中國臺灣9．7％，印度0．1％。

高純度氟化氫是半導(dǎo)體用的刻蝕氣體，主要用于晶圓表面清洗、芯片加工過程的清洗和腐蝕，依據(jù)不同的氣體種類，其對應(yīng)的制造商也有所不同。

總體而言，這類氣體的供應(yīng)商有關(guān)東電化工業(yè)、昭和電工、DAIKIN工業(yè)、StellaChemifa、森田化工等。

其中，森田化工在國內(nèi)有工廠，StellaChemifa雖然主要是在日本廠生產(chǎn)，但在韓國也有合資公司。

在這一原材料中，雖然日本供應(yīng)商占一定份額，但非日系供應(yīng)商也不少，韓國也有刻蝕氣體供應(yīng)商FOOSUNG，再者，其國內(nèi)的供應(yīng)商其實不少，因此這塊不至于被日本廠商掐著脖子，大差別可能在于質(zhì)量上，日本供應(yīng)商的質(zhì)量相對較高。

氟化氫對半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)節(jié)至關(guān)重要、又沒辦法長期保存囤貨，難怪三星乃至整個韓國的半導(dǎo)體企業(yè)如此心急了。

不僅如此，想要拋開日本去需求替代品都很難找到，因為有能力生產(chǎn)上述三種材料（氟聚酰亞胺、光刻膠及高純度氟化氫）、且純度能夠達(dá)到半導(dǎo)體制造業(yè)使用需求的，主要都是日本和美國企業(yè)，其中日本企業(yè)占據(jù)的份額高達(dá)90％、少的也有70％，難怪日本要對這幾種材料下手了，他們的底氣就在這里。

日本掌控該領(lǐng)域難代替

全WORLD制造氟化氫的工廠都是99．99％純度，用于蝕刻是夠用的，日本產(chǎn)的氟化氫純度更高，能在小數(shù)點后面多幾個9。

另外由于日本目前是氟化氫大供應(yīng)國，產(chǎn)能高，價格便宜，而能用到氟化氫的半導(dǎo)體制造企業(yè)數(shù)量并不多，所以習(xí)慣上都是用日本的。其他國家的中小氟化氫企業(yè)體量不夠大，也是半導(dǎo)體廠商在選擇時猶豫的原因。

韓國雖然現(xiàn)在在中國尋找替代的供應(yīng)商，但將來要減少對日本材料的依賴，只能補助本國氟化氫企業(yè)提高產(chǎn)能，并且逐步轉(zhuǎn)向干式蝕刻制造半導(dǎo)體。

濕式蝕刻過程為等向性，一般而言不足以定義3微米以下的線寬，隨著7納米工藝的量產(chǎn)以及更高精度半導(dǎo)體制造工藝發(fā)展，濕式蝕刻慢慢將被干式取代，整個半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)展的大趨勢也是干式蝕刻。

而且頗為關(guān)鍵的是，氟化氫腐蝕性極強(qiáng)、沒辦法長期保存，此前韓國半導(dǎo)體企業(yè)都是小批量從日本進(jìn)口的，三星據(jù)稱還剩大約一個月的氟化氫用量，如果到時候還不能解決氟化氫的供應(yīng)問題，估計只能采取減產(chǎn)、甚至停產(chǎn)措施進(jìn)行應(yīng)對了。

要求嚴(yán)格供給選擇不多

高純度氟化氫等韓國對日本市場依賴度很高，據(jù)韓媒報道，三星電子和SK海力士半導(dǎo)體公司到5月為止從日本進(jìn)口的半導(dǎo)體材料等的比例為43．9％（高純度氟化氫）到93．7％（氟聚酰亞胺）。

據(jù)韓國官方數(shù)據(jù)顯示，當(dāng)前韓國進(jìn)口用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的氟化氫中，有43．9％來自日本，46.3％來自中國大陸。

雖然日本產(chǎn)氟化氫進(jìn)口量并不高，但是這些日本產(chǎn)氟化氫卻幾乎都被用于生產(chǎn)半導(dǎo)體材料。

另外，韓國廠商一時間也無法擺脫對于日本原材料的依賴，因為尋找和測試相關(guān)替代品需要經(jīng)歷很長時間。

目前，國內(nèi)電子級氫氟酸生產(chǎn)廠家有十家左右，現(xiàn)有產(chǎn)能9萬噸左右，但國內(nèi)能達(dá)到半導(dǎo)體所用UPSS級別的企業(yè)并不多。

在技木方面，中國廠家是完全有能力生產(chǎn)高純度氟化氫的，但目前來說，高純度氟化氫的生產(chǎn)對于技木和工藝的要求都非常高，并且需要長期的測試，在氟化氫產(chǎn)業(yè)鏈條上，無疑是日本更具有優(yōu)勢。

電子級氫氟酸及氟化氫氣體是在半導(dǎo)體制造工藝清洗、刻蝕等步驟中廠泛應(yīng)用的材料，日本限制對韓國出口高純度氟化氫產(chǎn)品將對韓國半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)產(chǎn)生極大影響。

本次日韓管制事件將對公司電子級氫氟酸產(chǎn)品市場拓展將形成有利契機(jī)，能夠助力穩(wěn)定下游客戶，增加出口韓國產(chǎn)品數(shù)量。據(jù)悉，多氟多去年公司電子級氫氟酸銷售實現(xiàn)快速增長，對韓出口量單月可達(dá)約300噸，較此前增長超過10倍。

結(jié)尾：

目前日本在氟化氫領(lǐng)域占據(jù)絕D地位。而此前韓國半導(dǎo)體行業(yè)需從日本進(jìn)口的比例不少于50％，日本限制對韓出口將使得韓國企業(yè)不得不重新考慮供應(yīng)商體系的搭建。